[中古価格] キーエンス　ワンショット3D形状測定器　VR-3000

【ヘッド】　VR-3200
倍率：12～160倍
観察測定範囲（縦/横）：1.4/1.9mm～18/24mm
ズーム：～ 4倍
測定可能高さ
　広視野モード：10 mm (±5 mm)
　高倍率モード：1mm (±0.5 mm)
測定精度
　高さ測定：±3µm
　幅測定
　　　広視野モード：5µm
　　　高倍率モード：2µm
画像サイズ：1024×768pix、2048×1536pix
連結機能：全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定、自動調整、自動テンプレート解析
ステージ
　XYストローク：184 x 88mm(電動)
　Z ストローク：90 mm (電動)※最大で188mm
　回転機構：±180° (試料回転ステージ)
　チルト機構：±30°以上
作動距離：75 mm
質量：28.0 kg
　
【コントローラー】　VR-3000
質量：3.8 kg

●100mm高さスペーサ付き（型式：OP-87708）
※最大で188mmの対象まで対応が可能です。